Mètode de mesura i control del gruix de la pel·lícula de la màquina moderna de recobriment al buit

El mètode de control de recobriment més directe és el mètode de microequilibri de cristall de quars (QCM), que pot impulsar directament la font d'evaporació i fer circular el deflector mitjançant el control PID per mantenir la taxa d'evaporació. Sempre que l'instrument estigui connectat al programari de control del sistema, pot controlar tot el procés de recobriment. Però la precisió de (QCM) és limitada, en part perquè controla la qualitat del recobriment que es diposita en lloc del seu gruix òptic.

A més, mentre que el QCM és molt estable a temperatures més baixes, es torna molt sensible a la temperatura a temperatures més altes. Durant l'escalfament prolongat, és difícil evitar que el sensor caigui en aquesta àrea sensible, provocant errors significatius a la pel·lícula.

El monitoratge òptic és el mètode preferit de monitoratge per a recobriments d'alta precisió perquè permet un control més precís del gruix de la capa (si s'utilitza correctament). La millora de la precisió prové de molts factors, però la raó més fonamental és el seguiment del gruix òptic.

El sistema de monitorització òptic d'una sola longitud d'ona OPTIMAL SWA-I-05 adopta mesuraments i controls indirectes, combinats amb un programari avançat de monitorització òptica desenvolupat pel Dr. Wang, per millorar eficaçment la teoria i el mètode de la sensibilitat de la resposta òptica als canvis de gruix de la pel·lícula. reduir l'error final, proporcionant retroalimentació o elecció de modes de transmissió i una àmplia gamma de longituds d'ona de control. És especialment adequat per al control de recobriment de diversos gruixos de pel·lícula, inclòs el control de pel·lícula irregular.